SPD-180 KOKUSAN科庫6英寸硅片森雙花籃晶圓甩干機

日本KOKUSAN科庫森（國産遠心機）鈴田上海代理原廠半導體晶圓專用對向式甩干離心干燥設備，行業成熟量產機型，依靠離心力 + 潔凈氣流協同完成晶圓表面精密脫水干燥，適配半導體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會社コクサン。SPD-180、H840SA、對向式離心干燥機、自轉式干燥機、晶圓清洗干燥設備

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內置螺旋絞龍 / 螺旋葉片，依靠螺旋推送物料前進，配合夾套導熱油 / 蒸汽加熱烘干，屬于傳導式加熱干燥，不靠離心力脫水。

常見類型：真空螺旋干燥機、臥螺沉降離心機（螺旋離心分離機）、連續螺旋輸送烘干機。

※我們還有8英寸及以下的設備、手動機、自動機等產品。

在半導體以外的應用中，也請隨時與我們咨詢。

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