原位MEMS 加熱/電學樣品桿系列

原位MEMS加熱/電學樣品桿系列產品介紹

在標準外形的透射電鏡樣品桿加裝芯片控制單元，通過芯片對單個納米結構進行溫度調控和電學測量。在進行原位操縱的同時利用透射電鏡及相關附件實時動態地對樣品的晶體結構化學組分、元素價態進行綜合表征。該系列產品的分辨率指標及漂移指標均達到優秀水平，并可以同時兼容EELS、EDS等附件

產品特色

原位加熱/電學測量系統

在樣品桿內安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學測量芯片。微加熱芯片可對樣品進行可控溫度的加熱，電學測量芯片可對樣品進行電性質測量。

本系統硬件包括兩部分，分別是加熱/電學測量控制器、原位MEMS芯片樣品桿，軟件包括自動控溫軟件和自動電學測量軟件。

1.加熱指標                                                                                  2.電學指標

溫度控制范圍: 室溫到1200 ℃                                                      包含一個電流電壓測試單元

加熱功率:最大30 W                                                                     電壓輸出最大 ± 200 V，最小 ± 5 μV

控溫穩定性:優于 ± 0.1 ℃                                                             電流測量最大 ± 1.5 A，最小 ± 100 fA

最大升溫速率:100 °C/s                                                                恒壓或者恒流模式

軟件控制                                                                                     軟件控制

3.熱電測量功能                                                                            4.TEM指標

6電極、8電極芯片                                                                        兼容電鏡型號及極靴

雙通道源表，加熱時同時測電                                                        可選雙傾版本，β角傾轉 ± 25°(同時受限于極靴)

單傾可選高傾角版本

                                                                               測量電極數可選

芯片可定制

應用案例

高溫下原子級別EELS

電場下的疇變化

部分產品精選

原位雙傾熱電一體測量系統、原位加熱/電學測量系統、真空轉移芯片測量系統（樣品桿端頭可伸縮）、液氮低溫芯片測量系統