善時儀器掃描電子顯微鏡，高清納米級成像。設備采用高真空模式，實現樣品高精度、高穩定性成像分析。最大放大倍率可達15萬倍，采用SE和BSE雙重探測器， 實現對樣品形貌及元素襯度分析；另外選配EDS探測器，可對材料所含元素種類及分布進行快速分析。國產掃描電鏡，就選善時儀器。